

Модель: 20-2
марка: JCB
JCB-8818 Введение оборудования MPCVD
Основные технические параметры оборудования
1 Микроволновая система (в соответствии с дополнительным источником питания)
◆ Рабочая частота: 2450 ± 50 МГц
◆ Выходная мощность: 1 ~ 10 кВт непрерывно регулируется
◆ Поток охлаждающей воды: 6-12 л/мин.
◆ Система Коэффициент стоячей волны: VSWR≤1,5
◆ Утечка микроволновой печи: <2 мВт/см2
◆ Ручные трехконтактные
◆ Оборудован регулировкой антенны и корректировкой поршня короткого замыкания
2. вакуумная система и реакционная камера
◆ Скорость утечки <5 × 10pa .m '/s
◆ Эта машина может достичь конечного давления ниже 0,5 PA и включает импортированный вакуумный датчик Pirani для точного измерения.
◆ Давление в полости не увеличится более чем на 50pa после 12 часов поддержания давления.
◆ Метод впуска воздуха: верхний воздушный впуск
◆ Машина имеет 4 наблюдения окна для измерения температуры.
◆ Вход: расположен на передней части полости
3. Система держателя образцов
◆ Диаметр стадии выборки ≥73 мм, эффективный диаметр использования ≥71 мм
◆ Субстратный стол с бутербродным охлаждением, вертикальный подъемник
4. Пневматическая система
◆ Полная металлическая сварка газовая пласка с 5-7 каналами газа.
◆ Все воздушные дорожки внутри оборудования используют сварку или VCR -соединения
5. Системное охлаждение
◆ Трехпользовательное охлаждение водяного охлаждения, мониторинг температуры и потока в реальном времени
◆ Охлаждающая вода.
Импорт температуры воды 20-25с
6. Метод измерения температуры
◆ Внешний инфракрасный термометр, диапазон температуры 300-1400RC